晶片製造商SK海力士(SK hynix)周二(3月24日)表示,將購買價值11.95萬億韓圜(約79.7億美元)的阿斯麥(ASML)極紫外光刻機(EUV)。這筆交易創下ASML客戶公開披露的最大單筆訂單紀錄。

SK海力士在監管文件中表示,這批設備的採購將於2027年12月31日之前完成,用於新產品量產。路透社曾於1月報道,該公司計劃將龍仁市(Yongin)新工廠的投產時間提前至2027年2月,以應對日益增長的存儲晶片需求。

極紫外光刻機用於製造晶片電路。NH投資證券(NH Investment & Securities)高級分析師柳英浩(Ryu Young-ho)向路透社表示,這筆訂單將同時供應給龍仁廠以及位於清州(Cheongju)的M15X工廠,後者主要生產人工智能(AI)所需的「高帶寬內存」(HBM)。

他指出:「因此,預計採購的EUV設備將同時用於HBM及先進動態隨機存取記憶體(DRAM)的生產。」

ASML生產的EUV光刻機(如TWINSCAN NXE系列)是製造7納米及以下先進製程晶片的關鍵。ASML先前報告顯示,截至2025年底,極紫外光刻機訂單積壓總額達388億歐元。

ASML先進光刻機禁止出口中國

自2019年起,在美國政府持續施壓下,荷蘭政府始終未批准ASML向中國出口EUV許可證。至今為止,沒有任何一台EUV光刻機被運往中國大陸。

除了最先進的EUV,稍舊一代的深紫外光刻機(DUV)限制也在不斷收緊。對於DUV中最先進的浸潤式型號(如NXT:2000i及後續機型),自2023年9月起,荷蘭政府已實施新的出口管制,ASML必須獲得許可證才能發貨,而針對中國先進晶圓廠的申請基本上被「推定拒絕」。

到了2025年和2026年,限制進一步延伸到售後服務。現在ASML為中國已安裝的部份先進DUV設備提供維修服務、軟件更新或更換零件時,也受到極大限制,這直接威脅到中國現有生產線長期運作。

作為美國及荷蘭認可的技術盟友企業,SK海力士這些設備將僅用於本國境內的廠區。雖然SK海力士在中國(如無錫)也有工廠,但這些先進的EUV設備禁止被安裝在其位於中國的生產線上。

截至格林威治標準時間08:22,ASML在阿姆斯特丹的股價上漲0.9%,報1,185.6歐元。與此同時,在《韓國經濟日報》(Korea Economic Daily)報道SK海力士可能通過赴美上市籌集多達100億美元資金後,SK海力士股價收盤上漲5.7%。#

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